https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39821| Title: | Влияние морфологии на теплопроводность тонких плёнок SiGe |
| Authors: | Хомец, А. Л. Холяво, И. И. Сафронов, И. В. |
| Keywords: | материалы конференций;тонкие пленки;теплопроводность;термоэлектрические материалы |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Хомец, А. Л. Влияние морфологии на теплопроводность тонких плёнок SiGe / Хомец А. Л., Холяво И. И., Сафронов И. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 27-28. |
| Abstract: | В данной работе представлены результаты исследования теплопроводности для тонких пленок SiGe с ориентацей <110>, различными толщинами слоев и внутренних границ раздела. Установлены морфологии тонких плёнок с минимальными значениями теплопроводности, а также выявлено влияние толщины слоев и переходных границ на теплопроводность. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39821 |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Khomets_Vliyaniye.pdf | 858.44 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.