Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/398
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГранько, С. В.-
dc.date.accessioned2014-07-12T07:07:47Z-
dc.date.accessioned2017-07-17T07:47:47Z-
dc.date.available2014-07-12T07:07:47Z-
dc.date.available2017-07-17T07:47:47Z-
dc.date.issued2009-
dc.identifier.citationМикроэлектромеханические устройства : лаборатор. практикум по курсу «Микро- и наноэлектромехан. устройства» для студентов специальности 1-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения / сост. С. В. Гранько. – Минск : БГУИР, 2009. – 23 с. : ил.ru_RU
dc.identifier.isbn978-985-488-478-3-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/398-
dc.description.abstractВ практикуме обобщены основные сведения о микроэлектромеханических устройствах. Даны методики анализа МЭМС- и МОЭМС-компонентов устройств медицинского назначения, основанных на явлениях дифракции излучения на фрактальных топологиях; акустоэлектронных компонентов; сенсорно-драйверных устройств. Предназначен для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности «Квантовые информационные системы».ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectмикроэлектромеханические устройстваru_RU
dc.subjectучебно-методические пособияru_RU
dc.subjectмедицинское оборудованиеru_RU
dc.subjectлабораторные работыru_RU
dc.titleМикроэлектромеханические устройства : лаборатор. практикум по курсу «Микро- и наноэлектромехан. устройства» для студентов специальности 1-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обученияru_RU
dc.typeBookru_RU
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Granko_2009.pdf2.64 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.