| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Шекелевский, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Бездников, М. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-09-14T07:26:45Z | - |
| dc.date.available | 2020-09-14T07:26:45Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Шекелевский, В. В. Метод расчета профиля зоны эрозии мишени магнетронной распылительной системы / Шекелевский В. В., Бездников М. С. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 87-88. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39909 | - |
| dc.description.abstract | В работе представлена методика определения профиля зоны эрозии мишени исходя из расчетов распределения скоростей электронов в магнитной ловушке методом конечных элементов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | зоны эрозии | ru_RU |
| dc.subject | магнетронные распылительные системы | ru_RU |
| dc.subject | метод конечных элементов | ru_RU |
| dc.title | Метод расчета профиля зоны эрозии мишени магнетронной распылительной системы | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
