| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Занько, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Леонович, Н. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-09-16T06:49:13Z | - |
| dc.date.available | 2020-09-16T06:49:13Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Занько, А. И. Исследование газодинамического потока в реакторе осаждения диэлектрических слоев на основе кремния / Занько А. И., Леонович Н. В. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель-май 2020 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. - Минск : БГУИР, 2020. - С. 81. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/39949 | - |
| dc.description.abstract | Выполнен расчет газодинамического потока в реакторе плазмохимического осаждения при расходе газа в диапазоне 10-300 см3/мин. Установлено расположение газораспределителя в реакторе для равномерного поступления реагентов к подложке. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | газодинамические потоки | ru_RU |
| dc.subject | плазмохимическое осаждение | ru_RU |
| dc.subject | реакторы | ru_RU |
| dc.title | Исследование газодинамического потока в реакторе осаждения диэлектрических слоев на основе кремния | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 56-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
