| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Аюпов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Шамшуров, П. Ю. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-10-21T12:01:18Z | - |
| dc.date.available | 2020-10-21T12:01:18Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Аюпов, В. А. Разработка конструкции кварцевого датчика и системы перемещения / В. А. Аюпов, П. Ю. Шамшуров // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 289. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40710 | - |
| dc.description.abstract | Для регистрации скорости нанесения при ионно-лучевом и ионно-плазменном распылении был разработан кварцевый датчик. Данный датчик предназначен для работы в системах кварцевого контроля толщины и скорости роста пленок в технологическом оборудовании вакуумного ионно-плазменного нанесения слоев и при проведении научных исследований. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | кварцевый датчик | ru_RU |
| dc.subject | система перемещения | ru_RU |
| dc.title | Разработка конструкции кварцевого датчика и системы перемещения | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
