| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Барахоев, А. Л. | - |
| dc.contributor.author | Тубольцев, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-10-22T06:49:27Z | - |
| dc.date.available | 2020-10-22T06:49:27Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Барахоев, А. Л. Моделирование процесса охлаждения кремниевой пластины потоком газовой смеси / А. Л. Барахоев, В. В.Тубольцев, О. И.Тихон // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 297-298. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40728 | - |
| dc.description.abstract | Для анализа результатов экспериментов по удалению с поверхности кремниевых пластин фоторезистивных маскирующих покрытий в потоке озоно-воздушной смеси, произведено моделирование эффекта охлаждения нагретой пластины в программном пакете ANSYS Fluent. Получены данные моделирования по распределению температуры на поверхности пластины в потоке газа и при отсутствии направленного потока газовой смеси. Настроена математическая модель, позволяющая исследовать процессы теплопереноса и охлаждения. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | охлаждение кремниевой пластины | ru_RU |
| dc.subject | газовая смесь | ru_RU |
| dc.title | Моделирование процесса охлаждения кремниевой пластины потоком газовой смеси | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
