| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Чан, Н. Д. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-10-22T07:39:22Z | - |
| dc.date.available | 2020-10-22T07:39:22Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Чан, Н. Д. Формирование переходных отверстий в кремниевых подложках 3D электронных модулей импульсным лазерным излучением / Н. Д. Чан // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 410-411. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40738 | - |
| dc.description.abstract | Современная электроника интенсивно осваивает производство 3D электронных модулей, способных интегрировать несколько кристаллов на основе различных технологий в многоуровневый корпус. Конструкции 3D-модулей на кремниевой подложке обеспечивают электрические межсоединения микросхем с наружными выводами, а также теплоотвод и защиту от окружающей среды. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | формирование переходных отверстий | ru_RU |
| dc.subject | 3D электронный модуль | ru_RU |
| dc.subject | импульсное лазерное излучение | ru_RU |
| dc.title | Формирование переходных отверстий в кремниевых подложках 3D электронных модулей импульсным лазерным излучением | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
