https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40744| Title: | Оптические свойства пленок SiOF, полученных прямым осаждением из ионных пучков |
| Authors: | Данилевич, Д. С. |
| Keywords: | материалы конференций;пленки SiOF;ионные пучки |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Данилевич, Д. С. Оптические свойства пленок SiOF, полученных прямым осаждением из ионных пучков / Д. С. Данилевич // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18 – 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 314. |
| Abstract: | Исследовано влияние парциального давления хладона и температуры подложки на оптические характеристики пленок SiOF, синтезированных прямым осаждением из ионных пучков. Установлено, что повышение давления хладона способствует небольшому снижению пропускания и увеличению поглощения покрытий. Нагрев подложки приводил к улучшению оптических характеристик пленок SiOF. Нагрев подложки приводил к росту ИК поглощения на связях С–О и О=С=О. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40744 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Danilevich_Opticheskiye.pdf | 413.63 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.