| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Тодин, П. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-11-03T10:53:28Z | - |
| dc.date.available | 2020-11-03T10:53:28Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Тодин, П. А. Исследование влияния электрических характеристик источника питания СВЧ магнетрона на стабильность оптического излучения плазмы СВЧ разряда / П. А. Тодин // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18–20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 396–397. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40880 | - |
| dc.description.abstract | В процессе работы технологического оборудования возникает необходимость контролировать состояния системы путем проведения корреляционного анализа ее параметров. Задача по прогнозированию и увеличению воспроизводимости параметров технологических процессов непосредственно связана со стабильностью работы технологической системы в целом. На примере изучения стабильности оптического излучения плазмы СВЧ разряда предложено проводить параметрический анализ технологической системы с использованием технологий визуализации аналитических данных в виде тепловых карт. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ магнетрон | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ разряд | ru_RU |
| dc.title | Исследование влияния электрических характеристик источника питания СВЧ магнетрона на стабильность оптического излучения плазмы СВЧ разряда | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
