| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Волков, А. М. | - |
| dc.contributor.author | Бекабаев, Д. Д. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-11-03T11:52:02Z | - |
| dc.date.available | 2020-11-03T11:52:02Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Волков, А. М. Получение кремния полупроводниковой чистоты. Методы выращивания монокристаллов / А. М. Волков, Д. Д. Бекабаев // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18–20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 304–305. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40891 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрен способ получения кремния полупроводниковой чистоты и выращивание монокристаллов, для изготовления полупроводниковых структур, имеющих высокие требования к чистоте используемых материалов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | монокристалл | ru_RU |
| dc.title | Получение кремния полупроводниковой чистоты. Методы выращивания монокристаллов | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
