| Title: | Влияние температуры подложки на оптические характеристики тонких пленок HfO2 |
| Authors: | Зырянова, А. С. |
| Keywords: | материалы конференций;температура подложки;тонкие пленки |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Зырянова, А. С. Влияние температуры подложки на оптические характеристики тонких пленок HfO2 / А. С. Зырянова // Электронные системы и технологии : сборник тезисов докладов 56-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 18– 20 мая 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск, 2020. – С. 323–325. |
| Abstract: | Исследовано влияние температуры подложки на оптические характеристики пленок из диоксида гафния, синтезированных реактивным ионно-лучевым распылением металлической мишени. Установлено, что повышение температуры подложки до 573 К привело к ухудшению оптических характеристик. Произошло снижение пропускания и рост поглощения в диапазоне 450–800нм. Это может быть связано с десорбцией кислорода из пленки, образованием неоднородных областей в структуре покрытия. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/40897 |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 56-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2020)
|
