| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Фам, В. Т. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-11-19T08:33:58Z | - |
| dc.date.available | 2020-11-19T08:33:58Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Ланин, В. Л. Моделирование лазерного формирования отверстий в неметаллических материалах / В. Л. Ланин, В. Т. Фам // Современные проблемы радиотехники и телекоммуникаций, РТ-2019 : 15-я Международная молодежная научно-техническая конференция, Севастополь 14–18 октября 2019 г. / Севастопольский государственный университет. – Севастополь, 2019. – С. 102. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41138 | - |
| dc.description.abstract | Проведено моделирование процесса лазерного формирования отверстий в кремниевой подложке толщиной 250 мкм, диаметр отверстия 0,1 — 0,2 мм. Рассмотрено влияние параметров лазерного излучения на время формирования и качество сквозного отверстия. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | СевГУ | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | лазерного формирования отверстий | ru_RU |
| dc.subject | неметаллические материалы | ru_RU |
| dc.title | Моделирование лазерного формирования отверстий в неметаллических материалах | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
