| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Лаппо, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Чан, Н. Д. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-11-23T06:42:57Z | - |
| dc.date.available | 2020-11-23T06:42:57Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Ланин, В. Л. Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремниевой подложке при формировании 3D структур / В. Л. Ланин, А. И. Лаппо, Н. Д. Чан // Материалы, оборудование и ресурсосберегающие технологии : материалы международной научно-техническая конференция, Могилев, 23-24 апреля 2020 г. / Белорусско-Российский университет. – Могилев, 2020. – С. 122–123. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41179 | - |
| dc.description.abstract | Электронная промышленность заинтересована в создании устройств малых размеров с высокой степенью интеграции, широким набором функций и доступных по стоимости. Эффективное решение этой задачи возможно с использованием 3D структур. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | лазерная прошивка отверстий | ru_RU |
| dc.subject | 3D структура | ru_RU |
| dc.title | Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремниевой подложке при формировании 3D структур | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
