| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Железнев, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Хаджинов, М. К. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-12-02T05:46:38Z | - |
| dc.date.available | 2020-12-02T05:46:38Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Железнев, А. И. Анализ качества покрытия технологического участка вакуумной установки / Железнев А. И., Хаджинов М. К. // Информационные технологии и системы 2020 (ИТС 2020) = Information Teсhnologies and Systems 2020 (ITS 2020) : материалы международной научной конференции, Минск, 18 ноября 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2020. – С. 32–33. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41393 | - |
| dc.description.abstract | Рассматривается структура технологического участка вакуумной установки. Анализируется вопрос качества получаемого покрытия и методах его повышения. Выявлены экономически выгодные методы повышения качества покрытия подходящие для условий реального производства. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | вакуумные установки | ru_RU |
| dc.subject | вакуумное осаждение | ru_RU |
| dc.subject | технологические участки | ru_RU |
| dc.title | Анализ качества покрытия технологического участка вакуумной установки | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ИТС 2020
|
