| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Гомза, Е. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-12-15T12:36:42Z | - |
| dc.date.available | 2020-12-15T12:36:42Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Гомза, Е. С. Автоматизация технологического процесса создания окисных пленок в микроэлектронике : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-40 80 02 / Е. С. Гомза ; науч. рук. А. Н. Шавель. – Минск : БГУИР, 2020. – 5 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41749 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | автоматизация | ru_RU |
| dc.subject | технологический процесс | ru_RU |
| dc.subject | окисные пленки | ru_RU |
| dc.title | Автоматизация технологического процесса создания окисных пленок в микроэлектронике | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-40 80 02 Системный анализ, управление и обработка информации (по отраслям)
|
