Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41774
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЧерных, А. Г.-
dc.contributor.authorКирия, Л. Т.-
dc.contributor.authorКовриго, В. М.-
dc.contributor.authorТымощик, А. С.-
dc.date.accessioned2020-12-16T09:33:29Z-
dc.date.available2020-12-16T09:33:29Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.citationМеталлизация микроэлектромеханических систем на основе бинарных и тройных сплавов алюминия / Черных А. Г. [и др.] // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХVIII Белорусско-российской научно-технической конференции, Браслав, 24–28 мая 2010 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2010. – С. 101.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41774-
dc.description.abstractСуществующие процессы металлизации алюминием, в настоящее время, не в полной мере отвечают требованиям современных микросхем и микроэлектромеханических систем. В работе проведен сравнительный анализ структурных и электрофизических свойств металлизации на основе тонких пленок сплавов Al–Ho, Al–Si, Al–Ho–Si, Al–Si–Cu.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectмикроэлектроникаru_RU
dc.subjectмикроэлектромеханические системыru_RU
dc.subjectметаллизацияru_RU
dc.titleМеталлизация микроэлектромеханических систем на основе бинарных и тройных сплавов алюминияru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:ТСЗИ 2010

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Chernykh_Metallizatsiya.pdf85.99 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.