https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41784| Title: | Ультразвуковая интенсификация формирования КНИ-структур |
| Authors: | Ефремов, В. А. Кулешов, А. А. Левченко, Н. В. |
| Keywords: | материалы конференций;информационная безопасность;КНИ-структуры;радиочастотная идентификация объекты |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Ефремов, В. А. Ультразвуковая интенсификация формирования КНИ-структур / Ефремов В. А., Кулешов А. А., Левченко Н. В. // Технические средства защиты информации : тезисы докладов ХVIII Белорусско-российской научно-технической конференции, Браслав, 24–28 мая 2010 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2010. – С. 120. |
| Abstract: | Предложена кинетическая модель эволюции профиля распределения имплантированных атомов водорода в условиях внешней ультразвуковой и температурной обработки. В рамках ab-initio моделирования проведены расчеты энергии связи атомов водорода в кристаллической решетке кремния для оценки влияния ультразвука на процесс миграции атомов водорода в кремниевой подложке. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41784 |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2010 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Efremov_Ultrazvukovaya.pdf | 86.65 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.