| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Черных, А. Г. | - |
| dc.contributor.author | Ригольд, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-14T07:35:16Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T07:47:44Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-14T07:35:16Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T07:47:44Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Технология изготовления элементов ИС : метод. указания по дисциплине «Маршрут. технология интегр. и больших гибрид. интегр. схем, датчики и сенсор. устройства» (раздел «Маршрут. технология интегр. схем») для студентов специальности I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» заоч. формы обучения / cост. А. Г. Черных, С. В. Ригольд. – Минск : БГУИР, 2007. – 23 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/418 | - |
| dc.description.abstract | Методические указания содержат программу по изучению дисциплины «Маршрутная технология интегральных и больших гибридных интегральных схем, датчики и сенсорные устройства» (раздел «Маршрутная технология интегральных схем»), а также требования к выполнению и оформлению курсовой работы. Приведены вопросы для самоконтроля и рекомендуемая литература по темам дисциплины. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методическте пособия | ru_RU |
| dc.subject | гибридные интегральные схемы | ru_RU |
| dc.subject | маршрутная технология | ru_RU |
| dc.subject | технология изготовления | ru_RU |
| dc.subject | интегральные схемы | ru_RU |
| dc.title | Технология изготовления элементов ИС : метод. указания по дисциплине «Маршрут. технология интегр. и больших гибрид. интегр. схем, датчики и сенсор. устройства» (раздел «Маршрут. технология интегр. схем») для студентов специальности I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» заоч. формы обучения | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
