| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кушнер, А. Д. | - |
| dc.contributor.author | Короткевич, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2020-12-22T11:18:39Z | - |
| dc.date.available | 2020-12-22T11:18:39Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Кушнер, А. Д. МЭМС-индуктор на основе анодного оксида алюминия / Кушнер А. Д., Короткевич А. В. // Информационные радиосистемы и радиотехнологии 2020 : материалы Республиканской научно-практической конференции, Минск, 28-29 октября 2020 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. А. Богуш [и др.]. – Минск : БГУИР, 2020. – С. 307-308. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/41988 | - |
| dc.description.abstract | В работе рассматривается технология изготовления МЭМС-индуктора на основе анодного оксида алюминия. Предложена модифицированная геометрия индуктора соленоидного типа с использованием технологии поверхностной микрообработки. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | МЭМС-индукторы | ru_RU |
| dc.subject | анодный оксид алюминия | ru_RU |
| dc.title | МЭМС-индуктор на основе анодного оксида алюминия | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| local.description.annotation | The paper discusses the technology of manufacturing a MEMS inductor based on anodic aluminum oxide. A modified geometry of a solenoid-type inductor using surface micromachining technology is proposed. | - |
| Appears in Collections: | Информационные радиосистемы и радиотехнологии 2020 : Республиканская научно-практическая конференция
|
