| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Черных, А. Г. | - |
| dc.contributor.author | Ригольд, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-14T07:52:24Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T07:47:45Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-14T07:52:24Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T07:47:45Z | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.citation | Черных, А. Г. Технологические маршруты изготовления ИС : лаборатор. практикум по курсам «Маршрут. технология интегр. схем» и «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» и I-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения / А. Г. Черных, С. В. Ригольд. – Минск : БГУИР, 2006. – 35 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 985-488-016-8 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/419 | - |
| dc.description.abstract | Лабораторный практикум позволяет получить представления о технологии изготовления биполярных ИС на ТТЛШ-элементах, КМОП ИС, полупроводниковых оперативных запоминающих устройств (ОЗУ) на n-канальных МОП структурах, СВЧ ИС, БиКМОП ИС, запоминающих элементов электрически стираемых программируемых постоянных запоминающих устройств (ЭСППЗУ), изучить технологические маршруты и контрольные операции после различных этапов изготовления ИС, приобрести практические навыки измерений параметров тестовых структур (ТС) и научиться проводить анализ технологического процесса по результатам измерений тестовых структур (ТС). | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | биполярные интегральные схемы | ru_RU |
| dc.subject | технология проектирования интегральных схем | ru_RU |
| dc.subject | ТТЛШ-элементы | ru_RU |
| dc.subject | полупроводниковые устройства | ru_RU |
| dc.subject | технологические маршруты | ru_RU |
| dc.subject | интегральные схемы | ru_RU |
| dc.subject | лабораторные работы | - |
| dc.title | Технологические маршруты изготовления ИС : лаборатор. практикум по курсам «Маршрут. технология интегр. схем» и «Технолог. процессы микроэлектроники» для студентов специальностей I-41 01 02 «Микро- и наноэлектр. технологии и системы» и I-41 01 03 «Квант. информ. системы» всех форм обучения | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
