| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Черных, А. Г. | - |
| dc.contributor.author | Колосницын, Б. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-14T08:02:35Z | - |
| dc.date.accessioned | 2017-07-17T07:47:46Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-14T08:02:35Z | - |
| dc.date.available | 2017-07-17T07:47:46Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Черных, А. Г. Технология изготовления интегральных микросхем. Лабораторный практикум : пособие / А. Г. Черных, Б. С. Колосницын. – Минск : БГУИР, 2014. – 48 с. : ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-002-6 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/420 | - |
| dc.description.abstract | Пособие содержит описание восьми лабораторных работ и позволяет получить представления о технологии изготовления широкого класса интегральных микросхем. При выполнении этих работ студенты могут изучить технологические процессы и контрольные операции после различных этапов изготовления интегральных микросхем, получить практические навыки измерений параметров тестовых структур и научиться проводить анализ технологического процесса по результатам этих измерений.
Основано на материале по дисциплинам «Технология изготовления интегральных микросхем» и «Технологические процессы микроэлектроники» специальностей «Микро-и наноэлектронные технологии и системы» и «Квантовые информационные системы». Может быть полезно при изучении родственных курсов других специальностей. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Бгуир | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | изготовление интегральных схем | ru_RU |
| dc.subject | интегральные схемы | ru_RU |
| dc.title | Технология изготовления интегральных микросхем. Лабораторный практикум : пособие | ru_RU |
| dc.type | Book | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
