Влияние степени легирования алюминием на механические и триботехнические характеристики пленок нитрида титана-алюминия

Abstract

Проведены исследования механических и триботехнических характеристик плёнок нитрида титана-алюминия, нанесённых методом реактивного магнетронного распыления из Ti-Al мозаичных мишеней с различной концентрацией алюминия. Получены зависимости элементного состава, микротвёрдости, коэффициента трения от степени легирования плёнок алюминием и концентрации азота в Ar/N2 смеси газов процессе нанесения плёнок. Установлено, что увеличение содержания алюминия в плёнке приводит к увеличению твёрдости плёнок и снижению коэффициента трения. Для концентрации азота в плёнке имеется оптимум, при котором достигается максимальная твёрдость и низкие значения коэффициента трения. Максимальная твёрдость HK 23,5 ГПа и минимальный коэффициент трения 0,082 получены для плёнок состава Ti5.