| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лазарук, С. К. | - |
| dc.contributor.author | Долбик, А. В. | - |
| dc.contributor.author | Лабунов, В. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-01-13T07:25:48Z | - |
| dc.date.available | 2021-01-13T07:25:48Z | - |
| dc.date.issued | 2011 | - |
| dc.identifier.citation | Лазарук, С. К. Использование наноструктурированного кремния при изготовлении МЭМС / Лазарук С. К., Долбик А. В., Лабунов В. А. // Технические средства защиты информации : тезисы докладов IХ Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 28–29 июня 2011 г. / редкол.: Л. М. Лыньков [и др.]. – Минск : БГУИР, 2011. – С. 70–71. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42416 | - |
| dc.description.abstract | Разработан технологический маршрут изготовления саморазрушающейся микроэлектромеханической системы на основе пористого кремния, которая может являться элементом системы защиты информации на цифровых носителях. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | защита информации | ru_RU |
| dc.subject | системы защиты информации | ru_RU |
| dc.subject | наноструктурированные материалы | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектромеханические системы | ru_RU |
| dc.title | Использование наноструктурированного кремния при изготовлении МЭМС | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2011
|
