| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Аюпов, В. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-01-18T07:44:23Z | - |
| dc.date.available | 2021-01-18T07:44:23Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Аюпов, В. А. Исследование распределения скорости нанесения тонких пленок методом перемещаемого зонда : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / В. А. Аюпов ; науч. рук. С. М. Завадский. – Минск : БГУИР, 2020. – 10 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42551 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | тонкие плёнки | ru_RU |
| dc.subject | метод перемещаемого зонда | ru_RU |
| dc.title | Исследование распределения скорости нанесения тонких пленок методом перемещаемого зонда | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
