https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42552| Title: | Исследование процессов ВЧ магнетронного нанесения тонких пленок сегнетоэлектриков на подложки 200 мм |
| Authors: | Голосов, А. Д. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;магнетронное распыление;тонкие пленки;сегнетоэлектрические слои |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Голосов, А. Д. Исследование процессов ВЧ магнетронного нанесения тонких пленок сегнетоэлектриков на подложки 200 мм : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / А. Д. Голосов ; науч. рук. С. М. Завадский. – Минск : БГУИР, 2020. – 8 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42552 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Golosov_Issledovanie.pdf | 700.14 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.