https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42558
Title: | Исследование электрофизических свойств пленок оксида тантала, формируемых методом магнетронного распыления |
Authors: | Литвин, Э. Е. |
Keywords: | авторефераты диссертаций;пленки оксида тантала;магнетронное распыление |
Issue Date: | 2020 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Литвин, Э. Е. Исследование электрофизических свойств пленок оксида тантала, формируемых методом магнетронного распыления : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / Э. Е. Литвин ; науч. рук. С. М. Завадский. – Минск : БГУИР, 2020. – 6 с. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42558 |
Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Litvin_Issledovanie.pdf | 521.18 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.