https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42837
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.author | Хмыль, А. А. | - |
dc.contributor.author | Емельянов, А. В. | - |
dc.contributor.author | Алиева, Н. В. | - |
dc.contributor.author | Емельянов, В. А. | - |
dc.contributor.author | Трусов, В. Л. | - |
dc.contributor.author | Шикуло, В. Е. | - |
dc.contributor.author | Сенько, С. Ф. | - |
dc.date.accessioned | 2021-02-04T05:54:50Z | - |
dc.date.available | 2021-02-04T05:54:50Z | - |
dc.date.issued | 2013 | - |
dc.identifier.citation | Конденсатор для интегральных микросхем : пат. 9178 U Респ. Беларусь : МПК (2006) H 01L 29/94 / Хмыль А. А., Емельянов А. В., Алиева Н. В., Емельянов В. А., Трусов В. Л., Шикуло В. Е., Сенько С. Ф. ; заявитель и патентообладатель УО Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – № u 20120965 ; заявл. 06.11.2012 ; опубл. 30.04.2013. – 6 с. : ил. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/42837 | - |
dc.description.abstract | Конденсатор для интегральных микросхем, содержащий нижнюю обкладку из легированного поликристаллического кремния, расположенную на диэлектрической пленке, сформированной на полупроводниковой подложке с активными элементами, пленку конденсаторного диэлектрика, состоящую из слоя диоксида кремния и слоя нитрида кремния, и верхнюю обкладку из легированного поликристаллического кремния, отличающийся тем, что дополнительно содержит слой оксинитрида кремния толщиной 1-5 нм, расположенный между слоем нитрида кремния и верхней обкладкой. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | Национальный центр интеллектуальной собственности | ru_RU |
dc.subject | патенты | ru_RU |
dc.subject | интегральные микросхемы | ru_RU |
dc.subject | конденсаторы | ru_RU |
dc.title | Конденсатор для интегральных микросхем | ru_RU |
dc.title.alternative | Пат. 9178 U Респ. Беларусь | ru_RU |
dc.type | Другое | ru_RU |
Appears in Collections: | Полезные модели |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.