Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43162
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКосенок, Я. А.-
dc.date.accessioned2021-03-11T13:50:30Z-
dc.date.available2021-03-11T13:50:30Z-
dc.date.issued2019-
dc.identifier.citationКосенок, Я. А. Водные композиции наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния : автореф. дисс. ... кандидата технических наук : 05.16.08 / Я. А. Косенок ; науч. рук. В. Е. Гайшун. – Минск : БГУИР, 2019. – 28 с.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43162-
dc.description.abstractБыстрый рост производства полупроводниковых приборов и интегральных схем требует улучшения качества различных специфических материалов для электронной техники. При обработке полупроводниковых подложек для микроэлектроники особое внимание уделяется микрорельефу (шероховатости) поверхности. Основными требованиями, обеспечивающими пригодность подложки, являются высокое структурное совершенство и атомарная гладкость поверхности с параметрами шероховатости на уровне десятых долей нанометра.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectавторефераты диссертацийru_RU
dc.subjectхимико-механическая полировка пластинru_RU
dc.subjectмонокристаллический кремнийru_RU
dc.subjectнаноразмерные частицы диоксида кремнияru_RU
dc.titleВодные композиции наноразмерных частиц диоксида кремния для химико-механической полировки пластин монокристаллического кремнияru_RU
dc.typeАвторефератru_RU
Appears in Collections:05.16.08 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике) (техническая и физико-математическая отрасли науки)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Kosenok_Vodnyye.pdf1.63 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.