| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Фам, В. Т. | - |
| dc.contributor.author | Петухов, И. Б. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-04-27T12:18:12Z | - |
| dc.date.available | 2021-04-27T12:18:12Z | - |
| dc.date.issued | 2020 | - |
| dc.identifier.citation | Ланин, В. Л. Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением / В. Л. Ланин, В. Т. Фам, И. Б. Петухов // Приборостроение – 2020 : материалы 13-й Международной научно-технической конференции, Минск, 18-20 ноября 2020 г. / Белорусский национальный технический университет. – Минск, 2020. – С. 387–388. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43323 | - |
| dc.description.abstract | В среде COMSOL Multiphysics разработана модель процесса термопередачи при прошивке отверстий в кремниевой подложке толщиной 300 мкм с использованием лазерного излучения в режимах непрерывного и импульсного излучения. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БНТУ | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | термопередача | ru_RU |
| dc.subject | моделирование | ru_RU |
| dc.subject | лазерное излучение | ru_RU |
| dc.subject | кремниевая подложка | ru_RU |
| dc.title | Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
