Нанокомпозитные материалы на основе пористого кремния и легкоплавких металлов

Гревцов, Н. Л.; Бондаренко, В. П.; Ланин, В. Л.; Grevtsov, N. L.; Bondarenko, V. P.; Lanin, V. L.

Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43327

Title:	Нанокомпозитные материалы на основе пористого кремния и легкоплавких металлов
Other Titles:	Porous silicon and fusible metal-based nanocomposite materials
Authors:	Гревцов, Н. Л. Бондаренко, В. П. Ланин, В. Л. Grevtsov, N. L. Bondarenko, V. P. Lanin, V. L.
Keywords:	публикации ученых;пористый кремний;наноструктуры;легкоплавкие сплавы;ультразвук;porous silicon;nanostructures;fusible alloys;ultrasonic processing
Issue Date:	2020
Publisher:	БГУ
Citation:	Гревцов, Н. Л. Нанокомпозитные материалы на основе пористого кремния и легкоплавких металлов = Porous silicon and fusible metal-based nanocomposite materials / Н. Л. Гревцов, В. П. Бондаренко, В. Л. Ланин // Материалы и структуры современной электроники : материалы IX Международной научно-технической конференции, Минск, 14 ноября 2020 г. / Белорусский государственный университет. – Минск, 2020. – С. 320–324.
Abstract:	Исследована возможность осаждения в каналы пор пористого кремния легкоплавких металлов индия и олова, а также сплава олово-цинк-кадмий. Металлы были осаждены на подготовленные анодированием подложки из мезопористого кремния путём расплавления при ультразвуковой обработке. Изучение образцов методами сканирующей электронной микроскопии и энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии показало, что данный метод обеспечивает полное заполнение каналов пор металлом, обеспечивая его наибольшую концентрацию в верхней части канала.
Alternative abstract:	Deposition of three different fusible metals into porous silicon was evaluated: In, Sn and a Sn-Zn-Cd alloy. Each metal was deposited via ultrasound-assisted high temperature processing onto porous silicon wafers obtained by anodizing monocrystalline silicon. The results of scanning electron microscopy and energy-dispersive X-ray spectroscopy suggest that this method allows to completely fill the pore channels with metal, with its highest concentration observed in the topmost part of the porous layer.
URI:	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43327
Appears in Collections:	Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Lanin_Nanokompozitnyye.pdf		471.21 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar