| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Бондаренко, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-05-05T08:17:02Z | - |
| dc.date.available | 2021-05-05T08:17:02Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Бондаренко, А. С. Анализ особенностей нагрева кремниевых пластин СВЧ энергией в объёме СВЧ резонатора = Analysis of the peculiarities of silicon wafers heating with microwave energy in the volume of a microwave resonator / А. С. Бондаренко, О. И. Тихон // Электронные системы и технологии : сборник материалов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 19-23 апреля 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Д. В. Лихаческий [и др.]. – Минск, 2021. – С. 152–153. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/43428 | - |
| dc.description.abstract | Представлен анализ особенностей нагрева кремниевых пластин СВЧ энергией. Проанализированы механизмы, ответственные за взаимодействие микроволн с веществом. In modern micro- and nanoelectronics, heating of materials is an essential part of technological processes. One of the most relevant and promising methods of heating electronic equipment materials is the use of microwave radiation. The paper presents an analysis of the peculiarities of silicon wafers heating with microwave energy. The mechanisms responsible for the interaction of microwaves with semiconductor materials were analyzed. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ нагрев | ru_RU |
| dc.subject | полупроводники | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | microwave heating | ru_RU |
| dc.subject | semiconductor | ru_RU |
| dc.subject | silicon | ru_RU |
| dc.title | Анализ особенностей нагрева кремниевых пластин СВЧ энергией в объёме СВЧ резонатора | ru_RU |
| dc.title.alternative | Analysis of the peculiarities of silicon wafers heating with microwave energy in the volume of a microwave resonator | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Электронные системы и технологии : материалы 57-й конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
