Исследование влияния отжига на механические и трибологические характеристики пленок нитрида титана-циркония

Abstract

Проведено исследование влияния отжига на механические и трибологические характеристики пленок нитрида титана циркония, нанесенных методом импульсного реактивного магнетронного распыления Ti-Zr мозаичной мишени. Получены зависимости микротвердости, коэффициента трения и объемного износа от температуры отжига. Установлено, что при увеличении температуры отжига микротвердость пленок TixZr1-xNy снижалась. При температуре отжига более 300 °С, коэффициент трения и объемный износ имели большие значения. Это можно связать с окислением поверхности кристаллов и образованием пленок из окcидов титана и циркония. The effect of annealing on the mechanical and tribological characteristics of titaniumzirconium nitride films deposited by pulsed reactive magnetron sputtering of a Ti-Zr mosaic target was studied. The dependences of microhardness, friction coefficient and volumetric wear on the annealing temperature are obtained. It was found that with an increase in the annealing temperature, the microhardness of the TixZr1-xNy films decreased. At an annealing temperature of more than 300 °C, the coefficient of friction and volumetric wear were large. This can be attributed to the oxidation of the crystal surface and the formation of films of titanium and zirconium oxides.