Измерение параметров пучков заряженных частиц в ионно-плазменных системах с использованием метода измерения тормозных характеристик

Abstract

Приводятся сведения о разработанной конструкции электростатического зонда и результаты измерения разработанным зондом энергетических характеристик ионного источника на основе торцевого холловского ускорителя. На основе результатов измерений сделан вывод о пригодности применения данного ионного источника при производстве изделий микроэлектроники. Information on the developed design of the electrostatic probe and the results of measurement of the developed characteristics of the energy characteristics of the ion source on the basis of the end Hall accelerator are given. Based on the measurement results, a conclusion is made about the suitability of the use of this ion source in the manufacture of microelectronics products.