https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44377
Title: | Формирование, структура и оптические свойства текстурированных пленок CaSi на Si(111) |
Authors: | Кропачев, О. В. Чернев, И. М. Галкин, К. Н. Алексеев, А. Ю. |
Keywords: | материалы конференций;эпитаксия;микроэлектроника;наноэлектроника |
Issue Date: | 2021 |
Publisher: | БГУИР |
Citation: | Формирование, структура и оптические свойства текстурированных пленок CaSi на Si(111) / Кропачев О. В. [и др.] // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2021. – С. 89–91. |
Abstract: | В работе исследован рост, структура и оптические свойства однофазных пленок CaSi на кремниевой подложке с ориентацией Si(111). Рентгеноструктурный анализ показал, что фазовый состав и кристаллическая структура пленок представляют собой поликристаллические пленки CaSi с преобладающей ориентацией CaSi(220) при росте методом молекулярно-лучевой эпитаксии и CaSi(010) – при росте методом реактивной эпитаксии. По данным оптической спектроскопии рассчитаны основные оптические функции пленки в диапазоне энергий фотонов 0.05 – 1.2 эВ. Проведено сравнение экспериментальных оптических данных с данными первопринципных расчетов оптических свойств CaSi. Показано хорошее совпадение основных межзонных переходов в спектрах оптических функций. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44377 |
Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021) |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Kropachev_Formirovaniye.pdf | 554.55 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.