| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Леонович, Н. В. | - |
| dc.contributor.author | Занько, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Логунов, К. Т. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-24T06:00:08Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-24T06:00:08Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Леонович, Н. В. Процесс формирования алмазоподобных углеродных покрытий с применением плазмы высокой плотности / Леонович Н. В., Занько А. И., Логунов К. Т. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2021. – С. 101–103. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44385 | - |
| dc.description.abstract | Разработана технология химического осаждения алмазоподобного углеродного покрытия в плазме высокой плотности. Описан реактор для плазмохимического осаждения. Получены покрытия алмазоподобного углерода. Представлены результаты исследования технологического процесса осаждения алмазоподобных углеродных покрытий. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | химическое осаждение | ru_RU |
| dc.subject | углеродные покрытия | ru_RU |
| dc.subject | алмазоподобные углеродные покрытия | ru_RU |
| dc.title | Процесс формирования алмазоподобных углеродных покрытий с применением плазмы высокой плотности | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
