| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Шекелевский, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Бездников, М. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-24T07:42:28Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-24T07:42:28Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Шекелевский, В. В. Оценка профиля выработки мишени магнетронной распылительной системы методом Монте-Карло / Шекелевский В. В., Бездников М. С. // Радиотехника и электроника : сборник тезисов докладов 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, апрель 2021 года / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : БГУИР, 2021. – С. 129–131. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44401 | - |
| dc.description.abstract | В работе представлена методика оценки геометрии профиля зоны эрозии мишени исходя из определения пространственного распределения электронов над поверхностью мишени методом Монте-Карло частиц. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | магнетронные распылительные системы | ru_RU |
| dc.subject | Монте-Карло метод | ru_RU |
| dc.title | Оценка профиля выработки мишени магнетронной распылительной системы методом Монте-Карло | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Радиотехника и электроника : материалы 57-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2021)
|
