| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Швец, А. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-07-07T10:28:33Z | - |
| dc.date.available | 2021-07-07T10:28:33Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Швец, А. А. Использование пакета ATHENA в рамках изучения дисциплины «Моделирование и оптимизация технологических процессов и элементов микроэлектронных устройств» / Швец А. А. // Актуальные вопросы профессионального образования = Аctual issues of professional education : тезисы докладов IV Международной научно-практической конференции, Минск, 20–21 мая 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: С. Н. Анкуда [и др.]. – Минск, 2021. – С. 203–205. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44703 | - |
| dc.description.abstract | В статье рассмотрены функциональные возможности пакета ATHENA для проектирования и моделирования как полного технологического маршрута изготовления изделий микроэлектроники, так и отдельных операций. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | технологические маршруты | ru_RU |
| dc.subject | программные модули | ru_RU |
| dc.subject | ATHENA | ru_RU |
| dc.title | Использование пакета ATHENA в рамках изучения дисциплины «Моделирование и оптимизация технологических процессов и элементов микроэлектронных устройств» | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Актуальные вопросы профессионального образования : материалы 4 Международной научно-практической конференции (2021)
|
