Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44703
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorШвец, А. А.-
dc.date.accessioned2021-07-07T10:28:33Z-
dc.date.available2021-07-07T10:28:33Z-
dc.date.issued2021-
dc.identifier.citationШвец, А. А. Использование пакета ATHENA в рамках изучения дисциплины «Моделирование и оптимизация технологических процессов и элементов микроэлектронных устройств» / Швец А. А. // Актуальные вопросы профессионального образования = Аctual issues of professional education : тезисы докладов IV Международной научно-практической конференции, Минск, 20–21 мая 2021 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: С. Н. Анкуда [и др.]. – Минск, 2021. – С. 203–205.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/44703-
dc.description.abstractВ статье рассмотрены функциональные возможности пакета ATHENA для проектирования и моделирования как полного технологического маршрута изготовления изделий микроэлектроники, так и отдельных операций.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectмикроэлектроникаru_RU
dc.subjectтехнологические маршрутыru_RU
dc.subjectпрограммные модулиru_RU
dc.subjectATHENAru_RU
dc.titleИспользование пакета ATHENA в рамках изучения дисциплины «Моделирование и оптимизация технологических процессов и элементов микроэлектронных устройств»ru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Актуальные вопросы профессионального образования : материалы 4 Международной научно-практической конференции (2021)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Shvets_Ispolzovaniye.pdf356.87 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.