| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Сербин, И. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-09-09T08:36:00Z | - |
| dc.date.available | 2021-09-09T08:36:00Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Сербин, И. Н. Метод контроля размеров микроэлектронных структур на основе микроскопии ГУФ диапазона : автореф. дисс. ... магистра инженерных наук : 1-39 80 03 / И. Н. Сербин ; науч. рук. А. Г. Трапашко. – Минск : БГУИР, 2021. – 9 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45142 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | микроскопия | ru_RU |
| dc.title | Метод контроля размеров микроэлектронных структур на основе микроскопии ГУФ диапазона | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-39 80 03 Электронные системы и технологии
|
