Саморазрушающиеся кремниевые чипы при попытке несанкционированного доступа к ним

Abstract

Пористый кремний, полученный электрохимическим анодированием монокристаллического кремния, обладает уникальными физическими и химическими свойствами, которые определяются его нанокристаллической структурой. Выбирая режимы анодной обработки возможно управлять этими свойствами, создавая в монокристаллической подложке разветвленную систему пор с размерами от единиц нанометров до нескольких микрон и формируя таким образом в пористом слое наноструктурированный материал с определенными свойствами. К таким явлениям относится недавно обнаруженное быстрое окисление слоев пористого кремния, проявляющееся как горение и взрыв этого материала.