https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45295| Title: | Цифровая оптическая микроскопия в производстве элементной базы для систем защиты информации |
| Authors: | Емельянов, В. А. Пономарь, В. Н. Чигирь, Г. Г. |
| Keywords: | доклады БГУИР;оптические микроскопы;микросхемы;цифровая оптическая микроскопия;защита информации;информационная безопасность |
| Issue Date: | 2005 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Емельянов, В. А. Цифровая оптическая микроскопия в производстве элементной базы для систем защиты информации / Емельянов В. А., Пономарь В. Н., Чигирь Г. Г. // Доклады БГУИР. – 2005. – № 5. – С. 73–74. |
| Abstract: | В данной работе показана возможность использования оптических микроскопов улучшенной конструкции для обеспечения операционного контроля в технологии субмикронных микросхем. Для получения высококачественных оцифрованных изображений элементов сформирован цифровой оптический микроскоп на основе микроскопа ф. Leica INM100 с набором высокоразрешающих объективов PL APO (1,6×, 2,5×, 5×, 10×, 20×, 50×, 100×, 150×), прецизионным сканирующим столиком LSTEP13, цифровой камерой Polaroid DMC Ie с разрешением матрицы 1600×1200 пикселей, управляющим компьютером на платформе Windows с интерфейсом SCSI-II. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45295 |
| Appears in Collections: | №5 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Emeliyanov_Tsifrovaya.pdf | 195.48 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.