Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45347
Title: Микротопливные элементы на основе пористого кремния
Authors: Алексеев, В. Ф.
Волчек, С. А.
Прошкина, А. А.
Keywords: материалы конференций;микротопливные элементы;пористый кремний
Issue Date: 2008
Publisher: БГУИР
Citation: Алексеев, В. Ф. Микротопливные элементы на основе пористого кремния / В. Ф. Алексеев, С. А. Волчек, А. А. Прошкина // Технические средства защиты информации : материалы докладов и краткие сообщения VI Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 21-22 мая, 2008 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. Ф. Голиков [и др.]. – Минск, 2008. – С. 83–84.
Abstract: Процесс изготовления макропористых слоев кремния имеет ряд особенностей: электрохимическое травление (анодирование) кремния в растворе плавиковой кислоты; "вскрытие пор" для получения пластины со сквозными каналами; аттестация пористых кремниевых слоев, т.е. характеризация образцов по таким параметрам, как общая и удельная площади внутренней поверхности пористой части кремниевого электрода. Рассмотрены микротопливные элементы на основе пористого кремния, их свойства и характеристики.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45347
Appears in Collections:ТСЗИ 2008

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Alekseyev_Mikropolosnyye.pdf148.68 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.