| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Столер, В. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-09-17T08:34:41Z | - |
| dc.date.available | 2021-09-17T08:34:41Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.citation | Столер, В. А. Гидродинамические особенности электрохимической металлизации рельефных микроповерхностей / В. А. Столер // Технические средства защиты информации : материалы докладов и краткие сообщения VI Белорусско-российской научно-технической конференции, Минск, 21-22 мая, 2008 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. Ф. Голиков [и др.]. – Минск, 2008. – С. 73. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45391 | - |
| dc.description.abstract | К числу перспективных технологий микроэлектроники, позволяющих создавать рельефные поверхности сложного профиля, относится ультразвуковая технология, связанная с обработкой ультразвуком технологических сред при проведении электрохимических процессов получения тонких пленок металлов. При этом основной акцент ставится на существенное изменение гидродинамики электролита
в приповерхностной зоне обрабатываемых тонкопленочных структур микро- и субмикронных размеров. Описаны результаты исследования закономерности микрораспределения меди в контрольных точках модельных образцов, и их применение на практике в получении осадка меди. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | ультразвуковая технология | ru_RU |
| dc.title | Гидродинамические особенности электрохимической металлизации рельефных микроповерхностей | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ТСЗИ 2008
|
