https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45413| Title: | Software for the design of optical control systems for the manufacture of precision microelectronics equipment |
| Other Titles: | Программная платформа для проектирования систем оптического контроля изготовления прецизионного оборудования микроэлектроники |
| Authors: | Doudkin, A. A. Voronov, A. A. Ganchenko, V. V. Avakov, S. M. |
| Keywords: | материалы конференций;image processing;automatic layout inspection;control and measurement equipmen |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Software for the design of optical control systems for the manufacture of precision microelectronics equipment / A. Doudkin [et al.] // Открытые семантические технологии проектирования интеллектуальных систем = Open Semantic Technologies for Intelligent Systems (OSTIS-2021) : сборник научных трудов / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: В. В. Голенков [и др.]. – Минск, 2021. – Вып. 5. – С. 263–266. |
| Abstract: | This paper describes the main functions and architecture of software control system for inspection equipment of integrated circuit on basis of computer vision. Advantages of the developed architecture are described, as well as its application for image processing of integrated circuit layouts. The system allows identifying effectively defects what it is especially important for Very large-scale integration manufacturing based on submicron technology. |
| Alternative abstract: | При реализации программного комплекса была разработана архитектура, обеспечивающая возможность гибкой настройки общего алгоритма обработки и анализа изображений. Отличительной особенностью архитектуры программной платформы и используемых алгоритмов является обеспечение измерения с автофокусировкой для повышения повторяемости и точности контроля и возможности гибкой настройки общего алгоритма обработки и анализа изображений, включая распараллеливание. Программная платформа применяется при производстве конкурентоспособного прецизионного оборудования для изготовления высокоточных оригиналов топологий изделий электронной техники и обеспечивает определение неровности края на всем участке измерений и контроль критических размеров полупроводниковых пластин СБИС с поддержкой минимальных элементов размером 350 нм и повторяемостью не хуже 2 нм. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45413 |
| ISSN: | 2415-7740 |
| Appears in Collections: | OSTIS-2021 |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Doudkin_Software.pdf | 94.03 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.