https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45473
Title: | Материалы для обратных масок технологии литографии и методы их термодеструкции |
Authors: | Лыньков, Л. М. Жданович, С. В. Петров, Н. П. Прудник, А. М. Богуш, В. А. |
Keywords: | публикации ученых;технологии литографии;термодеструкция |
Issue Date: | 1996 |
Publisher: | Институт механики металлополимерных систем им. В. А. Белого НАН Беларуси |
Citation: | Материалы для обратных масок технологии литографии и методы их термодеструкции / Л. М. Лыньков [и др.] // Материалы, технологии, инструмент. – 1996. – № 2. – С. 88. |
Abstract: | Применение новых материалов в качестве масок для обратной литографии требует изучения механических и других свойств в условиях термообработки, приводящей к их полному разрушению. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45473 |
Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Lynkov_Materialy.pdf | 61.47 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.