| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Минченко, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Ковальчук, Г. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Школык, С. Б. | - |
| dc.contributor.author | Зайцев, В. А. З | - |
| dc.date.accessioned | 2014-07-16T12:41:30Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-19T09:38:51Z | - |
| dc.date.available | 2014-07-16T12:41:30Z | |
| dc.date.available | 2017-07-19T09:38:51Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Минченко, В. А. Зондовый автоматический технологический контроль микро-, нано- и свч-структур на пластине // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ–БГУИР (Минск, 18–19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2 / редкол. : А. Н. Осипов [и др.]. – Минск : БГУИР, 2014.-C. 91-92 | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-038-5 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/458 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены проблемы и указаны пути их решения при зондовом контроле БИС (до 0,3нс)и СВЧ-полупроводниковых структур на пластине. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | зондовый СВЧ-контроль | ru_RU |
| dc.subject | полупроводниковая пластина | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.title | Зондовый автоматический технологический контроль микро-, нано- и свч-структур на пластине | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Секция «Микро- и наноэлектроника»
|
