Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45907
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЛыньков, Л. М.-
dc.contributor.authorЖданович, С. В.-
dc.contributor.authorПетров, Н. П.-
dc.contributor.authorБогуш, В. А.-
dc.coverage.spatialМинск-
dc.date.accessioned2021-11-11T06:50:10Z-
dc.date.available2021-11-11T06:50:10Z-
dc.date.issued1996-
dc.identifier.citationПрименение циркония и его окислов в технологии интегральных микросхем / Л. М. Лыньков [и др.] // // Современные технологии гибридных интегральных микросхем включая элементы сверхпроводниковой электроники : IV Международная научно-техническая конференция, Нарочь, 23-27 сентября 1996 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол.: Л. М. Лыньков. – Нарочь, 1996. – С. 178–181.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/45907-
dc.description.abstractАнодный и термический Zr02 являются весьма перспективными материалами в технологии микроэлектроники, в частности крио-ИМС. Их применение позволяет создавать воспроизводимые по параметрам сверхпроводниковые микроструктуры, субмикронные элементы, что позволяет решить сложные технологические задачи микроэлектроники и создать качественно новые микроэлектронные структуры.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectсверхпроводниковые интегральные микросхемыru_RU
dc.subjectвысокотемпературные сверхпроводникиru_RU
dc.titleПрименение циркония и его окислов в технологии интегральных микросхемru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Lynkov_Primeneniye.pdf119.74 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.