| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.contributor.author | Богуш, Н. В. | - |
| dc.contributor.author | Бордусов, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Василевич, В. П. | - |
| dc.contributor.author | Гульпа, Д. В. | - |
| dc.contributor.author | Збышинская, М. Е. | - |
| dc.contributor.author | Ковальчук, Н. С. | - |
| dc.contributor.author | Кузьмар, И. И. | - |
| dc.contributor.author | Кушнер, Л. К. | - |
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | - |
| dc.contributor.author | Петухов, И. Б. | - |
| dc.contributor.author | Соловьев, Я. А. | - |
| dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | - |
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2021-11-29T11:56:41Z | - |
| dc.date.available | 2021-11-29T11:56:41Z | - |
| dc.date.issued | 2021 | - |
| dc.identifier.citation | Контактно-барьерные структуры субмикронной электроники / А. П. Достанко [и др.] ; под ред. А. П. Достанко, В. Л. Ланина ; Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск : Бестпринт, 2021. – 270 с. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-7267-10-1 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46027 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области формирования контактно-барьерных структур в изделиях субмикронной электроники и оборудования для микроэлектронного про-изводства и диагностики структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженер-но-технических работников предприятий электронной промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Бестпринт | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | субмикронная электроника | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.subject | полупроводниковая микроэлектроника | ru_RU |
| dc.title | Контактно-барьерные структуры субмикронной электроники | ru_RU |
| dc.type | Книга | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
