| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Зырянова, А. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2022-05-16T12:00:28Z | - |
| dc.date.available | 2022-05-16T12:00:28Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.citation | Зырянова, А. С. Тонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным ионно-лучевым распылением : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-39 80 03 / А. С. Зырянова ; науч. рук. А. П. Достанко. – Минск : БГУИР, 2022. – 11 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/46968 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.subject | диоксид гафния | ru_RU |
| dc.subject | ионно-лучевое распыление | ru_RU |
| dc.title | Тонкие пленки диоксида гафния, полученные реактивным ионно-лучевым распылением | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-39 80 03 Электронные системы и технологии
|
