| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Пигаль, Р. В. | - |
| dc.contributor.author | Боровиков, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Лагуцкий, И. А. | - |
| dc.contributor.author | Терещук, О. И. | - |
| dc.coverage.spatial | Российская Федерация | - |
| dc.date.accessioned | 2022-05-31T11:10:22Z | - |
| dc.date.available | 2022-05-31T11:10:22Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.citation | Использование ионного травления металла для улучшения адгезии DLC-покрытий, получаемых методом HiPIMS / Пигаль Р. В. [и др.] // Интернаука. – №11(234), ч. 2. - 2022. – С. 60 – 64. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/47158 | - |
| dc.description.abstract | Целью работы являлась оценка влияния предварительного травления стальной подложки на адгезию алмазоподобного покрытия (DLC-покрытия). Исследовалась морфология и микроструктура образцов по фотографиям, получаемым с помощью сканирующего электронного микроскопа. Установлено, что методы магнетронного
распыления импульсами высокой мощности (англоязычное сокращение HiPIMS) с предварительным травлением материалами Cr (хром) и Ti (титан) при отрицательном смещением на подложке показывают лучшие результаты, нежели травление ионами Ar (аргон). | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Интернаука | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | алмазоподобные покрытия | ru_RU |
| dc.subject | тонкоплёночные технологии | ru_RU |
| dc.subject | импульсное магнетронное распыление | ru_RU |
| dc.subject | diamond-like coating (DLC) | ru_RU |
| dc.subject | thin-film technologies | ru_RU |
| dc.subject | pulsed magnetron sputtering | ru_RU |
| dc.title | Использование ионного травления металла для улучшения адгезии DLC-покрытий, получаемых методом HiPIMS | ru_RU |
| dc.title.alternative | Use of ion etching of metal to improve the adhesion of DLC-coatings obtained by HiPIMS method | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| local.description.annotation | The aim of this work was to evaluate the effect of pre-etching of a steel substrate on the adhesion of a diamond-like coating (DLC-coating). The morphology and microstructure of the samples were studied using photographs taken with a scanning electron microscope. It has been established that the methods of magnetron sputtering with high-power pulses (abbreviated in English as HiPIMS) with preliminary etching with Cr (chromium) and Ti (titanium) materials with a negative bias on the substrate show better results than etching with Ar (argon) ions. | - |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
