| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Поляков, Н. С. | - |
| dc.coverage.spatial | Минск | - |
| dc.date.accessioned | 2022-09-12T08:21:05Z | - |
| dc.date.available | 2022-09-12T08:21:05Z | - |
| dc.date.issued | 2022 | - |
| dc.identifier.citation | Поляков, Н. С. Моделирование процесса очистки водорода / Поляков Н. С. // Информационные системы и технологии : сборник тезисов докладов 58-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 18–22 апреля 2022 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Институт информационных технологий ; редкол.: Маковский М. Л. [и др.]. – Минск, 2022. – С. 59. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/48036 | - |
| dc.description.abstract | Работа содержит описание установки по гидрогазовой очистки водорода, использующегося для наращивания эпитаксиальных слоёв кремниевых пластин при производстве электронных приборов. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | гидрогазовая очистка водорода | ru_RU |
| dc.subject | очистка водорода | ru_RU |
| dc.subject | кремниевые пластины | ru_RU |
| dc.subject | электронные приборы | ru_RU |
| dc.title | Моделирование процесса очистки водорода | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Информационные системы и технологии : 58-я научная конференция аспирантов, магистрантов и студентов (2022)
|
